二氧化铪(HfO2)是铪元素的一种氧化物,常温常压下为白色固体粉末,有单斜、四方和立方三种晶体结构,熔点2780~2920K。沸点5400K。热膨胀系数5.8×10-6/℃。不溶于水、盐酸和硝酸。由硫酸铪、氯氧化铪等化合物热分解或水解制取。为生产金属铪和铪合金的原料。用作耐火材料、涂料和催化剂。
应用方向
二氧化铪是一种具有宽带隙和高介电常数的陶瓷材料,近来在工特别是微电子领域被引起高度的关注,由于它可能替代目前硅基集成电路的核心器件金属氧化物半导体场效应管的栅极绝缘层二氧化硅,以解决目前MOSFET中传统SiO2/Si结构的发展的尺寸极限问题。
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